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> 退火温度对磁控溅射制备的β-FeSi2薄膜的影响
退火温度对磁控溅射制备的β-FeSi2薄膜的影响
退火温度对磁控溅射制备的β-FeSi2薄膜的影响
资料类型:
PDF文件
关键词:
铁硅化物
退火温度
β-FeSi2薄膜
XRD
SEM
RBS
资料大小:
397K
所属学科:
分子表征
来源:
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
采用磁控溅射的方法,在高真空条件下,沉积金属Fe到Si(100)衬底上,然后通过真空退火炉在不同温度条件下对样品进行热处理,直接形成了β-FeSi2薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)对样品进行了晶体结构分析,利用卢瑟福背散射(RBS)对Fe-Si化合物的形成过程中的Fe原子和Si原子的互扩散机理进行了研究,利用扫描电镜(SEM)对样品表面的显微结构进行表征,结果表明,在900℃条件下退火能够得到质量很好的β-FeSi2薄膜,超过这一温度β相将开始向α相转化,到1000℃,β-FeSi2全部转化为α-FeSi2。
作者:
梁 艳,谢 泉,曾武贤,张晋敏,杨吟野,肖清泉,任雪勇
上传时间:
2008-09-08 14:32:06
下载次数:
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